公司動態

12英寸PECVD設備實現國產化

日期:2021-03-06 21:57:40

近日,國家科技重大專項“極大規模集成電路制造裝備及成套工藝”部署的“90-65nm等離子體增強化學氣相沉積(PECVD)設備研發與應用”項目順利完成,實現了12英寸PECVD設備的國產化,填補了國內空白,提升了我國集成電路產業整體競爭力。
PECVD設備是集成電路制造的核心設備之一,技術難度大,單臺價值高。一直以來,12英寸PECVD技術被歐美以及日本等國家所壟斷。在國家科技重大專項的部署及支持下,由企業與科研院所聯合研發,攻克了12英寸PECVD設備的架構平臺設計、薄膜工藝開發、仿真理論計算、設備可靠性及工藝可重復性、薄膜均勻性控制、射頻技術等關鍵技術問題,申請了專利307項,建立了技術標準10項,12英寸等離子體增強化學氣相沉積(PECVD)設備(PF-300)榮獲國家重點新產品。產品通過了中芯國際12英寸晶圓制造及蘇州晶方、華進半導體、華天科技的12英寸三維封裝的生產驗證、采購認證與使用,各項指標達到國際水平,成本為國際設備的70%。目前項目實現了7臺12英寸PECVD的銷售,另有5臺設備已經交付用戶,產品及服務得到了用戶的一致認可。

       昆山華速快捷電子有限公司致力于pcb打樣 pcb板打樣 蘇州pcb打樣 蘇州pcb板打樣 昆山pcb打樣 昆山pcb板打樣聯系人:王經理 電 話:0512-36851254 傳 真:0512-36851254 手 機:18261407283 地 址:江蘇省蘇州市昆山市千燈鎮聯合路101號 網 址:www.kshs-pcb.com.cn

<a href=http://www.tcpcb.cn/ target=_blank class=infotextkey>pcb板</a>打樣

版權所有:昆山騰宸電子科技有限公司 轉載請注明出處
JAPANESE性公交车,10.免费无码A片一区二区三区,色偷偷人人澡久久超碰97位WA,欧美亚洲综合一区二区三区